一種高純氬氣凈化裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821585766.0 申請日 -
公開(公告)號 CN208829269U 公開(公告)日 2019-05-07
申請公布號 CN208829269U 申請公布日 2019-05-07
分類號 C01B23/00(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 李倩; 張步云; 王嘯天; 徐道林 申請(專利權(quán))人 煙臺明炬氣體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 煙臺上禾知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 劉志毅
地址 264000 山東省煙臺市福山高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)明炬街158號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高純氬氣凈化裝置,包括處理箱,所述處理箱的底部內(nèi)壁設(shè)有一號凈化罐和二號凈化罐,且一號凈化罐和二號凈化罐的頂部外壁均開有通孔,兩個通孔均內(nèi)插接有罐蓋,一號凈化罐與罐蓋的連接處和二號凈化罐與罐蓋的連接處均設(shè)有一號密封法蘭,所述一號凈化罐與二號凈化罐的一側(cè)外壁均設(shè)有壓力表,且一號凈化罐位于壓力表的一側(cè)外壁設(shè)有進(jìn)氣管。本實用新型通過在處理箱內(nèi)部設(shè)置一號電控閥和二號電控閥,在處理箱外部設(shè)置卡接式球閥,卡接式球閥密封性高,適用于高純度氬氣凈化裝置,但是由于處理箱為密封環(huán)境,卡接式球閥無法在處理箱內(nèi)部安裝,提高了裝置的密封性,降低了氬氣泄漏對操作人員造成危害的可能性。