一種晶圓研磨自動上料機器臂
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020951504.2 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212218154U | 公開（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申請公布號 | CN212218154U | 申請公布日 | 2020-12-25 |
| 分類號 | B24B37/04(2012.01)I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 王印璽 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇澳芯微電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 221300江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)遼河路北側(cè)、華山路西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓研磨自動上料機器臂，包括機器臺和轉(zhuǎn)珠，所述機器臺的內(nèi)部設(shè)置有微型電機，且微型電機的兩側(cè)均設(shè)置有第一固定栓，所述第一固定栓的一側(cè)設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，且轉(zhuǎn)軸的一側(cè)設(shè)置有散熱框，所述轉(zhuǎn)珠均設(shè)置在機器臺的上方，且轉(zhuǎn)珠的上方設(shè)置有卡塊，所述卡塊的一側(cè)設(shè)置有第一電動推桿，且第一電動推桿的上方兩側(cè)均設(shè)置有連接塊，所述連接塊的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第二固定栓，且第二固定栓的上方設(shè)置有支撐架。該晶圓研磨自動上料機器臂中，旋轉(zhuǎn)桿與第三電動推桿對滑動套起到旋轉(zhuǎn)作用，在日常使用中，滑動套的設(shè)置便于對裝置進行固定，同時滑動套對拉鉤螺紋固定作用，便于對拉鉤進行更換。?? |
