在線往復(fù)式蝕刻噴淋裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110428138.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113005455A 公開（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113005455A 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) C23F1/02;C23F1/08 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳利解;魏靜;門松明珠;周愛和 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昆山一鼎工業(yè)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州至善至誠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙旭
地址 215300 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)望山北路399號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種在線往復(fù)式蝕刻噴淋裝置，包括：驅(qū)動(dòng)組件；傳動(dòng)組件，傳動(dòng)組件具有一個(gè)輸入端和兩個(gè)輸出端，傳動(dòng)組件的輸入端與驅(qū)動(dòng)組件相連；上噴淋組件，上噴淋組件與一輸出端相連，驅(qū)動(dòng)部件通過傳動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)上噴淋組件往復(fù)運(yùn)動(dòng)；下噴淋組件，下噴淋組件設(shè)于上噴淋組件的下方，且與上噴淋組件相對(duì)設(shè)置，下噴淋組件與另一輸出端相連，驅(qū)動(dòng)部件通過傳動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)下噴淋組件往復(fù)運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單且靈活，利用相對(duì)設(shè)置的上噴淋組件和下噴淋組件對(duì)產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行蝕刻噴淋實(shí)現(xiàn)了雙面噴淋，利用傳動(dòng)組件將驅(qū)動(dòng)組件的動(dòng)力同時(shí)傳輸給上噴淋組件和下噴淋組件，減少了動(dòng)力部件的使用數(shù)量。