多晶硅原料的清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110285053.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103011168A 公開(kāi)（公告）日 2013-04-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN103011168A 申請(qǐng)公布日 2013-04-03
分類(lèi)號(hào) C01B33/037(2006.01)I 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 史珺;卿喻楚;李華杰 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海普羅新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海普羅新能源有限公司
地址 201300 上海市浦東新區(qū)惠南鎮(zhèn)宣黃公路2455弄6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種多晶硅原料的清洗方法，包括步驟：將多晶硅料粉碎，用磁鐵去除硅粉中的鐵。將硅粉在過(guò)氧化氫溶液中浸泡2小時(shí)～24小時(shí)。將硅粉進(jìn)行濕氧氧化。將硅粉放入鹽酸和氫氟酸的混合酸中浸泡。將硅粉用氫氟酸浸泡腐蝕。將硅粉放入超聲波水槽中進(jìn)行超聲清洗。將硅粉在真空爐中烘干，得到目標(biāo)產(chǎn)品。本發(fā)明通過(guò)酸洗能去除硅粉中的金屬雜質(zhì)；以及利用硼在硅中平衡濃度和在SiO2中平衡濃度之比小于1，經(jīng)過(guò)濕氧氧化使雜質(zhì)硼擴(kuò)散到SiO2中，再通過(guò)酸洗去含大量硼的SiO2，從而能得到4N～5N的多晶硅。本發(fā)明還具有工藝方法簡(jiǎn)單、成本低、工藝安全以及較少的污染的優(yōu)點(diǎn)。