一種用于半導(dǎo)體蝕刻反應(yīng)腔室的全自動(dòng)刷鍍鎳的移動(dòng)機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021668466.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212834080U | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212834080U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號(hào) | C25D5/06(2006.01)I;C25D21/12(2006.01)I | 分類 | 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 黎糾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 帝京半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州知杭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 夏艷 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)竹園路209號(hào)4號(hào)樓8樓803-2 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體蝕刻反應(yīng)腔室的全自動(dòng)刷鍍鎳的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括垂直移動(dòng)支架，水平橫向移動(dòng)支架和水平縱向移動(dòng)支架；所述的垂直移動(dòng)支架由四根圓柱體立柱組成，所述的水平橫向移動(dòng)支架由兩根長(zhǎng)方體立柱組成，所述的水平縱向移動(dòng)支架為正方體立柱，正方體立柱安裝于水平橫向移動(dòng)支架的長(zhǎng)方體立柱上，長(zhǎng)方體立柱設(shè)置有燕尾槽。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)垂直移動(dòng)支架、水平橫向移動(dòng)支架和水平縱向移動(dòng)支架實(shí)現(xiàn)對(duì)電鍍刷在垂直方向和水平方向的移動(dòng)控制，在處理多個(gè)被鍍工件時(shí)，自動(dòng)控制可以減輕操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，提高工作效率的同時(shí)保證鍍層質(zhì)量，避免操作人員長(zhǎng)期近距離接觸鍍液，保護(hù)操作人員的健康安全。?? |
