一種用于半導(dǎo)體蝕刻反應(yīng)腔室的全自動刷鍍鎳的電鍍刷

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021668441.6 申請日 -
公開（公告）號 CN212834079U 公開（公告）日 2021-03-30
申請公布號 CN212834079U 申請公布日 2021-03-30
分類號 C25D5/06(2006.01)I;C25D21/12(2006.01)I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 黎糾 申請（專利權(quán)）人 帝京半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州知杭知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 夏艷
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)竹園路209號4號樓8樓803-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于半導(dǎo)體蝕刻反應(yīng)腔室的全自動刷鍍鎳的電鍍刷，包括燕尾連接件，儲液盒，金屬固定板和金屬絲；燕尾連接件由連接部和移動部組成，連接部為燕尾凸臺，移動部為中空的長方體結(jié)構(gòu)，移動部內(nèi)置有儲液盒，移動部與金屬固定板固定連接。本實用新型的優(yōu)點在于電鍍刷設(shè)置有金屬絲，金屬絲能夠完全貼合被鍍工件的彎曲表面，保證刷鍍時鍍層均勻；第一紅外傳感器和第二紅外傳感器位于金屬板的斜對角處，通過紅外測距從而檢測金屬固定板與被鍍件的距離和角度狀態(tài)，提高電鍍刷的電鍍精確度。??