一種旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐的冷卻裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021046515.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212253683U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212253683U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-29 |
| 分類號(hào) | F27D9/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分類 | 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 王孟光;高貴華;陳志強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 洛陽(yáng)聯(lián)創(chuàng)鋰能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 洛陽(yáng)聯(lián)創(chuàng)鋰能科技有限公司 |
| 地址 | 471039河南省洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)建業(yè)路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐的冷卻裝置，旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐呈中空的圓柱體，冷卻裝置包括熱傳導(dǎo)冷卻機(jī)構(gòu)和噴淋水冷卻機(jī)構(gòu)；熱傳導(dǎo)冷卻機(jī)構(gòu)包括多個(gè)均布于旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐外壁上的翅片；噴淋水冷卻機(jī)構(gòu)包括冷卻筒，冷卻筒包括圓筒以及與圓筒的兩端部滿焊連接的環(huán)形擋板I，旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐通過(guò)環(huán)形擋板I上的中心孔貫穿與其間隙配合的冷卻筒，冷卻筒的上部設(shè)有通過(guò)管路與儲(chǔ)水池中的水泵連接的進(jìn)水管，進(jìn)水管上間隔設(shè)有多個(gè)噴頭，冷卻筒的下部豎直設(shè)有多個(gè)出水管，出水管遠(yuǎn)離冷卻筒的一端與換熱器管路連接后延伸至儲(chǔ)水池中。該冷卻裝置將熱傳導(dǎo)冷卻機(jī)構(gòu)和噴淋水冷卻機(jī)構(gòu)相結(jié)合，提高了旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐的散熱速度，實(shí)現(xiàn)了快速冷卻。?? |
