一種晶圓生產用上下料裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022938454.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213936148U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213936148U 申請公布日 2021-08-10
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳繼勇 申請（專利權）人 江蘇宿芯半導體有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 223800江蘇省宿遷市宿城區(qū)文體中心文化館728室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓生產用上下料裝置，涉及晶圓生產技術領域。本實用新型包括伺服電機、傳動裝置、傳送裝置、固定槽和機械手，固定槽內部安裝有傳送裝置，傳送裝置穿過固定槽與傳動裝置轉動連接，傳動裝置一旁轉動連接有三臺伺服電機，固定槽一側尾端固定有機械手。本實用新型通過設置機械手和伺服電機，解決了現(xiàn)有的晶圓生產用上下料裝置在上料的過程中用到的機械手不夠靈活，給上料過程帶來了很多不便；功率較小，從而使傳送的時候效率不高，影響工作流程進度的問題。