寬范圍大電流高維持電壓的雙端ESD集成保護器件及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510008849.8 申請日 -
公開（公告）號 CN104617094B 公開（公告）日 2018-04-17
申請公布號 CN104617094B 申請公布日 2018-04-17
分類號 H01L27/04;H01L21/77 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 廖智;趙建明;黃平;徐開凱;趙國;鐘思翰;王威;胡興微;徐彭飛;蔣澎湃;陳勇;夏建新 申請（專利權(quán)）人 四川綠然電子科技有限公司
代理機構(gòu) 石家莊科誠專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 電子科技大學(xué);四川藍彩電子科技有限公司;四川綠然電子科技有限公司;上海朕芯微電子科技有限公司
地址 611731 四川省成都市高新區(qū)(西區(qū))西源道2006號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種寬范圍大電流高維持電壓的雙端ESD集成保護器件及其制備方法，其中寬范圍大電流高維持電壓的雙端ESD集成保護器件由下至上依次設(shè)有金屬層，N+襯底、N?外延層、二氧化硅層，所述N?外延層頂端設(shè)有兩個對稱的、貫通二氧化硅層的P+有源區(qū)，所述每個P+有源區(qū)的外圍設(shè)有保護環(huán)，在所述保護環(huán)的外圍還設(shè)有場限環(huán)，P+型有源區(qū)通過接觸孔引出兩個金屬電極，并在接觸孔四周的二氧化硅層上設(shè)有金屬場板。本發(fā)明采用兩個背靠背二極管結(jié)構(gòu)的雙端集成器件作為高壓ESD保護器件，具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低、耐壓性高等優(yōu)點。本發(fā)明適用于高電壓下對器件的ESD/ESO的保護。