一種離子注入模型的參數提取方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811609198.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109753709A 公開（公告）日 2019-05-14
申請公布號 CN109753709A 申請公布日 2019-05-14
分類號 G06F17/50 分類 計算；推算；計數;
發(fā)明人 張澤龍 申請（專利權）人 蘇州珂晶達電子有限公司
代理機構 北京科億知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道1355號國際科技園內B501單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種離子注入模型的參數提取方法，其將蒙特卡羅仿真模型的數值仿真結果以注入深度?離子濃度的形式導出得到散點數據，并形成曲線，針對單峰曲線，將其分為4段區(qū)域，并針對其中第一、二區(qū)域采用聯(lián)合半高斯擬合，針對第三、四區(qū)域采用尾函數與聯(lián)合半高斯函數的線性組合進行擬合；針對雙峰曲線，將其分為5段區(qū)域，并針對第一、二、四、五區(qū)域采用聯(lián)合半高斯函數擬合，針對第三區(qū)域采用兩個聯(lián)合半高斯函數的組合函數進行擬合，大大提高了離子注入模型的擬合精度。