原子力顯微鏡探針、原子力顯微鏡及探針的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810233689.0 申請日 -
公開（公告）號 CN108845161A 公開（公告）日 2018-11-20
申請公布號 CN108845161A 申請公布日 2018-11-20
分類號 G01Q60/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋一鳴;馬明;鄭泉水 申請（專利權）人 深圳清力技術有限公司
代理機構 北京博雅睿泉專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 曾晨;馬佑平
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華園1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種原子力顯微鏡探針、原子力顯微鏡及探針的制備方法。原子力顯微鏡探針包括探針本體和設置在探針本體的針尖一側的接觸體，接觸體具有連接段和接觸段，接觸段具有接觸端面；接觸段為二維材料，且接觸端面為原子級光滑且平整的單晶界面。本發(fā)明的原子力顯微鏡探針可精確地檢測受測樣品的各種性質。