一種結構超滑器件及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910233562.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111747371A 公開（公告）日 2020-10-09
申請公布號 CN111747371A 申請公布日 2020-10-09
分類號 B81B5/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I 分類 微觀結構技術〔7〕;
發(fā)明人 鄭泉水;胡恒謙 申請（專利權）人 深圳清力技術有限公司
代理機構 北京中政聯(lián)科專利代理事務所（普通合伙） 代理人 陳超
地址 518118廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)蘭景中路16號國富文化創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)廠區(qū)廠房A601
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種大尺度、大滑移行程并且有良好一致性和可靠性的結構超滑器件及其制備方法，所述超滑結構包括基底和多個超滑片，所述多個超滑片連接在所述基底上，所述連接使得所述超滑片的超滑面距基底表面的高度可調(diào)節(jié)。所述制備方法包括將所述超滑片轉移至帶有彈性連接材料的所述基底上，通過所述彈性連接材料將所述多個超滑片連接到所述基底上，通過高度調(diào)整部件調(diào)節(jié)所需高度后固化所述彈性連接材料，或者在所述基底上設置通孔，在所述多個超滑片上分別設置連接部件，連接部件對齊所述通孔，通過高度調(diào)整部件調(diào)整所述高度后將超滑片固定在所述通孔中，或者通過基底的彈性或塑形變形來調(diào)節(jié)所述高度。??