化學(xué)氣相沉積設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120553436.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202499905U 公開（公告）日 2012-10-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN202499905U 申請(qǐng)公布日 2012-10-24
分類號(hào) C23C16/455 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李一成;汪宇澄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 理想耀銳（浙江）能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海信好專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張靜潔;徐雯瓊
地址 311100 浙江省杭州市余杭區(qū)文一西路1500號(hào)1幢411室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包含化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔以及氣體傳輸裝置；所述氣體傳輸裝置包含反應(yīng)氣源；在所述反應(yīng)氣源與所述化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔之間設(shè)置定量供氣裝置，該定量供氣裝置每次向化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔中輸送定量的反應(yīng)氣體。本實(shí)用新型可精確控制進(jìn)入各個(gè)反應(yīng)腔內(nèi)的反應(yīng)氣體量，提高薄膜太陽能電池的沉積質(zhì)量，并且有效降低化學(xué)氣相沉積設(shè)備的成本。