基板傳送系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220187886.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202594391U 公開（公告）日 2012-12-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN202594391U 申請(qǐng)公布日 2012-12-12
分類號(hào) B65G49/06(2006.01)I;B65G13/12(2006.01)I;B65G13/07(2006.01)I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 李一成;李冠龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 理想耀銳（浙江）能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海和躍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孟建勇
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)居里路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種基板傳送系統(tǒng)，其應(yīng)用于一處理設(shè)備中，以傳送所述處理設(shè)備中的基板，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳送所述基板的傳動(dòng)部件、動(dòng)力機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)可以為所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供升降與旋轉(zhuǎn)用的動(dòng)力，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與所述傳動(dòng)部件連接，用于驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件升降運(yùn)動(dòng)或者旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述處理設(shè)備具有處理腔室，所述處理腔室內(nèi)設(shè)有襯底支承座，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在動(dòng)力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)所述傳動(dòng)部件下降并穿過所述襯底支承座進(jìn)而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座上。