膜厚測量光路系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200820141226.3 申請日 -
公開（公告）號 CN201307000Y 公開（公告）日 2009-09-09
申請公布號 CN201307000Y 申請公布日 2009-09-09
分類號 G01B11/06(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張博;薛尚清;謝亮;魏楊 申請（專利權(quán)）人 四川南光電氣有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 成都立信專利事務(wù)所有限公司 代理人 四川南光電氣有限責(zé)任公司;成都南光機(jī)器有限公司
地址 610100四川省成都市成都經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)星光西路115號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型為膜厚測量光路系統(tǒng)，解決已有光路系統(tǒng)光通量小，調(diào)節(jié)度粗糙，調(diào)節(jié)不便的問題。連接于光源形腔(3)的光源升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(5)內(nèi)有第一透鏡，光源升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與機(jī)械調(diào)制盤(7)連接，真空腔(14)內(nèi)有被測片(15)，真空腔(14)與光纖偶合器的第二對接法蘭(16)連接，第二對接法蘭與接收套(18)連接，鎖緊螺套(17)固定接收套(18)于第二對接法蘭(16)上，接收套(18)與光纖調(diào)整機(jī)構(gòu)(19)連接，光纖調(diào)整機(jī)構(gòu)內(nèi)有第三透鏡(43)，光源升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(5)、主升降調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(10)和光纖升降機(jī)構(gòu)均有螺紋旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，光路系統(tǒng)的通光口徑(44)為28-35mm，光纖出射端(40)和單色儀入射端(41)為有光通過的狹縫。