一種高純度的IT0靶材生產(chǎn)用便于固定的烘干設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021984383.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213020777U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213020777U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | F26B25/00(2006.01)I;F26B11/18(2006.01)I;F26B25/18(2006.01)I | 分類 | 干燥; |
| 發(fā)明人 | 葛春橋;崔恒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中山智隆新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市海盛達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 趙雪佳 |
| 地址 | 528459廣東省中山市板芙鎮(zhèn)居委會(huì)板芙北路17號(hào)四海酒店A棟三樓D301（住所申報(bào)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種高純度的IT0靶材生產(chǎn)用便于固定的烘干設(shè)備，包括烘干設(shè)備本體和風(fēng)機(jī)，所述烘干設(shè)備本體的外部上方安裝有電機(jī)，且電機(jī)的下方固定有凹?jí)K，所述凹?jí)K的外部通過螺栓與凸塊相連接，所述烘干設(shè)備本體的內(nèi)部下方設(shè)置有滾珠，且滾輪的上方安裝有圓形座，所述圓形座的上方設(shè)置有滾輪，且滾輪的外部安裝有T形座。該高純度的IT靶材生產(chǎn)用便于固定的烘干設(shè)備，與現(xiàn)有的普通烘干設(shè)備相比，能夠很好的固定高純度的IT靶材，防止高純度的IT靶材在放置板上方隨意晃動(dòng)，避免影響加工質(zhì)量，同時(shí)避免高純度的IT靶材意外掉落，損壞高純度的IT靶材，使得高純度的IT靶材在烘干過程中和移動(dòng)過程中有著很好的防掉落效果。?? |
