一種便于清潔和收集廢料的ITO靶材裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021958483.3 申請日 -
公開（公告）號 CN214234880U 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN214234880U 申請公布日 2021-09-21
分類號 B07B1/04（2006.01）I;B07B1/50（2006.01）I;B08B1/04（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 葛春橋;崔恒 申請（專利權）人 中山智隆新材料科技有限公司
代理機構 深圳市海盛達知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 趙雪佳
地址 528459廣東省中山市板芙鎮(zhèn)居委會板芙北路17號四海酒店A棟三樓D301（住所申報）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于IT0靶材裝置技術領域，尤其為一種便于清潔和收集廢料的ITO靶材裝置，包括收集槽和安裝欄，所述收集槽的外側安裝有第一電機，且第一電機的外側連接有第一轉(zhuǎn)輪，所述第一轉(zhuǎn)輪的外側設置有傳動帶，且傳動帶的內(nèi)側設置有第二轉(zhuǎn)輪，所述第二轉(zhuǎn)輪的外側連接有轉(zhuǎn)動軸，且轉(zhuǎn)動軸的外側連接有過濾板，所述收集槽的內(nèi)部設置有夾板，且夾板的內(nèi)側設置有第一彈簧，并且第一彈簧的上端連接有滑板，所述安裝欄設置于收集槽的上方，且安裝欄的上方安裝有第二電機，所述第二電機的外側連接有螺紋桿，且螺紋桿的外側連接有移動板，所述移動板的下方連接有伸縮桿。該便于清潔和收集廢料的ITO靶材裝置，具備廢料收集功能，且可以對裝置自身進行清理。