一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022156069.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213142143U 公開(公告)日 2021-05-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN213142143U 申請(qǐng)公布日 2021-05-07
分類號(hào) F27D9/00(2006.01)I;C22B7/00(2006.01)I;C22B58/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 崔恒;葛春橋;柳春錫;金志洸;王夢(mèng)涵 申請(qǐng)(專利權(quán))人 中山智隆新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東科信啟帆知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 吳少東
地址 528400廣東省中山市板芙鎮(zhèn)居委會(huì)板芙北路17號(hào)四海酒店A棟三樓D301(住所申報(bào))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種用于從ITO廢靶中經(jīng)升華提純銦的回收靶結(jié)構(gòu),包括冷卻水管接口和回收靶體,所述冷卻水管接口安裝在回收靶體的外壁上,在進(jìn)行工作時(shí),將冷卻水管連接于冷卻水管接口,將排水管連接于出水管接口,然后,向冷卻水管中輸入冷水,由于冷卻水管接口和出水管接口之間通過上部冷卻槽和下部盤型槽相連通,這樣確保冷卻水能夠順利從冷卻水管接口處流向到出水管接口處,形成循環(huán),對(duì)回收靶體的內(nèi)壁進(jìn)行冷卻,使得升華后的金屬銦能夠冷凝附著在回收靶體中進(jìn)行收集,在工作結(jié)束后,取出回收靶體,由于回收靶體內(nèi)部均勻涂有脫模劑層,方便對(duì)金屬銦進(jìn)行脫出,本實(shí)用新型能夠快速且均勻的對(duì)回收靶體內(nèi)壁進(jìn)行冷卻,具有很好的實(shí)用性能。??