一種高純度三氯化銦的制備系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022732482.3 申請日 -
公開(公告)號 CN213976993U 公開(公告)日 2021-08-17
申請公布號 CN213976993U 申請公布日 2021-08-17
分類號 C01G15/00(2006.01)I;B01D7/00(2006.01)I;B01D7/02(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 徐成;劉華勝;郭高偉;周聲萬;戴曲柯 申請(專利權(quán))人 清遠(yuǎn)先導(dǎo)材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 顏希文;管瑩
地址 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種高純度三氯化銦的制備系統(tǒng),包括套管、升華容器、凝華容器、升華控溫結(jié)構(gòu)和凝華控溫結(jié)構(gòu);所述升華容器和凝華容器設(shè)于所述套管中,所述升華容器和凝華容器呈開口相對的試管狀,且二者可拆卸式密閉連接;所述套管的兩端具有投料口和出料口,所述投料口和出料口上設(shè)有閥門;所述升華控溫結(jié)構(gòu)設(shè)于所述升華容器所在處的套管外部,所述凝華控溫結(jié)構(gòu)位于所述凝華容器所在處的套管外部;所述套管上還連接有真空泵的接口,以及惰性氣體或氮?dú)獾慕涌?。本?shí)用新型中的高純度三氯化銦的制備系統(tǒng),其可以獲得更高純度的無水三氯化銦,以便應(yīng)用在IC行業(yè)中。