一種砷化鎵基LED管芯的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010747671.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114068767A 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN114068767A 申請公布日 2022-02-18
分類號 H01L33/00（2010.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/304（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L33/36（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐曉強;程昌輝;吳向龍;閆寶華;王成新 申請（專利權(quán)）人 山東浪潮華光光電子股份有限公司
代理機構(gòu) 濟南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王素平
地址 261061山東省濰坊市市轄區(qū)高新區(qū)金馬路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種砷化鎵基LED管芯的制作方法。該方法包括采用電流擴展層—P面電極—減薄—N面電極—切割的制作流程，其中在N面電極制作前將完成P面制作的晶片正面貼附上熱解膜，N面電極完成后將熱解膜去除，然后進行快速切割。本發(fā)明既避免使用切割保護液，又在切割時不會對芯片電極產(chǎn)生破壞，降低整體作業(yè)成本。