差壓傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022131677.2 申請日 -
公開（公告）號 CN212844122U 公開（公告）日 2021-03-30
申請公布號 CN212844122U 申請公布日 2021-03-30
分類號 G01L13/06(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉同慶;林智敏 申請（專利權）人 無錫芯感智半導體有限公司
代理機構 北京中知法苑知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 214000江蘇省無錫市濱湖區(qū)建筑西路777號A10幢3層裙樓北側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供一種差壓傳感器，包括：殼體，所述殼體設置有容納腔以及與所述容納腔相連通的第一進壓孔和第二進壓孔；壓力敏感芯片，所述壓力敏感芯片位于所述容納腔內，所述壓力敏感芯片具有高壓腔、低壓腔以及壓力感應層，所述壓力感應層位于所述高壓腔與所述低壓腔之間；以及，所述高壓腔與所述第一進壓孔相連通，所述低壓腔與所述第二進壓孔相連通。本公開的差壓傳感器，可以利用第一進壓孔和第二進壓孔分別向高壓腔和低壓腔內引入待測壓力，并經(jīng)由壓力感應層測量得出壓差信號，從而實現(xiàn)壓力差值的測量。利用一個壓力敏感芯片即可實現(xiàn)壓力差值的測量，結構簡單，并且具有較高的測量精度。??