一種芯片冷卻裝置及其裝配方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110689610.7 申請日 -
公開(公告)號 CN113421868B 公開(公告)日 2022-07-12
申請公布號 CN113421868B 申請公布日 2022-07-12
分類號 H01L23/473(2006.01)I;H01L23/373(2006.01)I;H01L23/367(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳釧;李君;王啟東;曹立強 申請(專利權)人 華進半導體封裝先導技術研發(fā)中心有限公司
代理機構 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 代理人 -
地址 214028江蘇省無錫市新區(qū)菱湖大道200號中國傳感網國際創(chuàng)新園D1棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及芯片熱管理技術領域,提出一種芯片冷卻裝置及其裝配方法。所述冷卻裝置包括多個金屬熱界面材料層;進液管;出液管;以及多個熱沉粒。本發(fā)明通過采用熱沉粒與金屬化整為零的布置方式,并且通過熱沉粒與輸送冷卻液的管道之間的柔性連接,可以在熱沉粒、金屬熱界面材料層以及大尺寸芯片之間形成較小的應力,有效解決了大尺寸高功耗芯片的散熱問題。