一種內(nèi)加熱型氮化硼復(fù)合纖維化學(xué)氣相沉積設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011414040.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112553603A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112553603A 申請公布日 2021-03-26
分類號 C23C16/34(2006.01)I;B65H18/10(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 孔令杰;白曉航 申請（專利權(quán)）人 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 合肥正則元起專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉生昕
地址 230000安徽省合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種內(nèi)加熱型氮化硼復(fù)合纖維化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括真空腔體和纖維傳動裝置，所述真空腔體包括中間中空腔、放卷腔、收卷腔，所述中間中空腔為管狀結(jié)構(gòu)，且中間中空腔的兩端固定連接在放卷腔和收卷腔上，所述中間中空腔的內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)加熱管，所述內(nèi)加熱管的兩端穿過中間中空腔分別設(shè)置在放卷腔和收卷腔的內(nèi)部，所述內(nèi)加熱管與放卷腔相接觸位置設(shè)置有絕緣密封圈，且在絕緣密封圈的側(cè)面上設(shè)置有電極，所述電極經(jīng)導(dǎo)線與控制器電連接，通過將內(nèi)加熱管內(nèi)置于中間中空腔內(nèi)部，實現(xiàn)快速升溫，且減少加熱時候熱量向外逸散，更為節(jié)能。??