用于實現(xiàn)晶圓移動檢測的防位移裝置及晶圓檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022109922.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213091730U 公開（公告）日 2021-04-30
申請公布號 CN213091730U 申請公布日 2021-04-30
分類號 G01R1/04;G01R31/28 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張建 申請（專利權(quán)）人 蘇州蘇納光電有限公司
代理機構(gòu) 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 趙世發(fā)
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中區(qū)工業(yè)園區(qū)星湖街218號生物納米園A4樓109C單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于實現(xiàn)晶圓移動檢測的防位移裝置及晶圓檢測裝置。所述防位移裝置包括：相互配合的底座和蓋板，所述底座具有一收容槽，所述收容槽內(nèi)還設(shè)置有至少一個支撐部件，所述蓋板能夠與所述底座固定結(jié)合并與所述收容槽圍合形成一收容腔；以及所述蓋板還具有沿厚度方向貫穿所述蓋板的窗口，所述窗口與所述收容腔連通。本實用新型實施例提供的一種晶圓檢測裝置，能夠與晶圓檢測儀器配合使用，從而在晶圓的運動過程中實現(xiàn)對整張晶圓的檢測，且能夠保持在檢測的運動過程中保持晶圓不會移動，進而可以有效防止晶圓在檢測儀器測試時瞬動所導(dǎo)致的位移現(xiàn)象。