一種半導體三溫測試生產(chǎn)線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011073980.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112382581A 公開（公告）日 2021-02-19
申請公布號 CN112382581A 申請公布日 2021-02-19
分類號 H01L21/66(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 謝斌;劉浩項 申請（專利權）人 安徽晶谷周界微電子股份有限公司
代理機構 合肥廣源知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 汪綱
地址 233000安徽省蚌埠市財院路10號106號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體芯片測試技術領域，具體涉及一種半導體三溫測試生產(chǎn)線，包括低溫測試線、高溫測試線及控制柜，低溫測試線與高溫測試線并排設置，低溫測試線包括第一底座，第一底座的上端面由前往后依次固定安裝有上料臺、低溫試驗箱及低溫轉接臺，上料臺的上表面中部嵌設有貫穿低溫試驗箱的第一進料軌道，且第一進料軌道的末端延伸至低溫轉接臺的上表面；高溫測試線包括第二底座，第二底座的上端面由前往后依次固定安裝有下料臺、高溫試驗箱及高溫轉接臺；本發(fā)明能在低溫試驗箱和高溫試驗箱的進料口及出料口形成氮氣流氣簾墻，氮氣流氣簾墻密封性及保溫箱均十分優(yōu)良，從而低溫試驗箱與高溫試驗箱內部熱量不易散失，也保證了試驗的精確性。??