帶hopping跳躍成像模式的電化學(xué)成像測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610139699.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107192855A 公開（公告）日 2017-09-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN107192855A 申請(qǐng)公布日 2017-09-22
分類號(hào) G01Q30/02(2010.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 牛利;韓冬雪;王偉;包宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇卓芯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 226109 江蘇省南通市高新區(qū)世紀(jì)大道998號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種帶hopping跳躍成像模式的電化學(xué)成像測(cè)量方法，原理圖如圖2所示。實(shí)驗(yàn)時(shí)探針從距離樣品基底H高度的位置開始向下步進(jìn)，當(dāng)檢測(cè)到的電流達(dá)到電流閾值I時(shí)探針停止移動(dòng)，記錄此時(shí)探針的移動(dòng)距離D，用H?D作為這個(gè)點(diǎn)的檢測(cè)值，然后自動(dòng)返回到H高度上繼續(xù)下一個(gè)點(diǎn)的檢測(cè)。帶hopping跳躍成像模式的電化學(xué)成像測(cè)量方法可以防止探針與被測(cè)樣品發(fā)生剛性接觸，避免損壞探針。且電化學(xué)成像測(cè)量結(jié)果中的每個(gè)檢測(cè)點(diǎn)都足夠接近被測(cè)樣品表面，使電化學(xué)成像的分辨率得到顯著的提高。