立式氧化鎵生長爐
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020241848.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211713253U | 公開（公告）日 | 2020-10-20 |
| 申請公布號 | CN211713253U | 申請公布日 | 2020-10-20 |
| 分類號 | C30B29/16(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 蔡永國;代利平 | 申請（專利權(quán)）人 | 河南諾巴迪材料科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 鄭州異開專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 河南諾巴迪材料科技有限公司 |
| 地址 | 450062河南省鄭州市新鄭市新村鎮(zhèn)107國道西側(cè)（鄭州理工院內(nèi)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種立式氧化鎵生長爐，包括上爐膛和下爐膛；其內(nèi)貫穿設(shè)置有石英外管，外管內(nèi)套接有通過水平連接板固定的內(nèi)管，所述水平連接板上開設(shè)有透氣孔，所述內(nèi)管內(nèi)設(shè)置有位于中部的擱板，所述擱板上放置有用于盛裝鎵催化劑的坩堝，內(nèi)管的兩端分別位于上爐膛的頂部開口處和下爐膛的中部；且石英內(nèi)外管兩端采用水冷式封堵結(jié)構(gòu)，管內(nèi)間隔設(shè)置有用于用于放置鎵催化劑的坩堝和用于放置藍(lán)寶石片的石英托盤，頂部設(shè)置有分別通向內(nèi)外管的進氣石英管，底部設(shè)置有出氣管和抽真空管。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊合理，操作方便快捷，可以輕松實現(xiàn)實驗室小批量氧化鎵的制作，有助于對新材料進行研究。?? |
