金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣處理裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921188422.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211069568U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-07-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211069568U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01D53/14(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 王曙;李華;楊東;吳慧哲;王偉明 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇宜興德融科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 江蘇宜興德融科技有限公司 |
| 地址 | 214213江蘇省無(wú)錫市宜興市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)騰飛路2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣處理裝置，該尾氣處理裝置包括：進(jìn)氣單元，其輸入待處理的廢氣；吸收單元，其上設(shè)有排氣口且與所述進(jìn)氣單元連接，所述吸收單元內(nèi)設(shè)有用于吸收所述待處理的尾氣的吸收液；監(jiān)測(cè)單元，用于監(jiān)測(cè)所述吸收單元中吸收液的參數(shù)并輸出到監(jiān)測(cè)單元中，所示參數(shù)包括pH值、ORP值和/或溫度；以及控制單元，基于所述監(jiān)測(cè)單元輸出的包含參數(shù)值的信號(hào)來(lái)控制所述尾氣處理裝置中的伺服部件，從而調(diào)節(jié)所述吸收液的對(duì)應(yīng)參數(shù)。本實(shí)用新型裝置處理能力大大提升，最多可同時(shí)滿(mǎn)足十?dāng)?shù)臺(tái)MOCVD設(shè)備的尾氣處理。負(fù)壓采用文丘里及風(fēng)機(jī)同時(shí)控制，負(fù)壓范圍廣、精確度高。?? |
