一種利用合金相變校準(zhǔn)MOCVD設(shè)備溫度的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911124525.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111006768A 公開（公告）日 2020-04-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN111006768A 申請(qǐng)公布日 2020-04-14
分類號(hào) G01J5/00(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 朱明星;李華;周少將;王偉明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇宜興德融科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 江蘇宜興德融科技有限公司
地址 214213江蘇省無(wú)錫市宜興市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)騰飛路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種利用合金相變校準(zhǔn)MOCVD設(shè)備溫度的裝置，包括：校溫片，所述校溫片包括相變材料層，所述相變材料層具有預(yù)定的相變溫度點(diǎn)，所述校溫片設(shè)置于MOCVD設(shè)備的樣品處，通過(guò)相變材料層發(fā)生相變反應(yīng)時(shí)校溫片表面激光反射率突變來(lái)獲得樣品處的真實(shí)溫度。本公開可在沒有黑體爐及被測(cè)材料發(fā)射率參數(shù)未知情況下，對(duì)紅外測(cè)溫曲線進(jìn)行校正，解決了MOCVD系統(tǒng)中紅外測(cè)溫曲線偏離真實(shí)樣品溫度的問(wèn)題。??