一種用于晶圓電鍍的蜂窩板及其裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821319263.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208869681U 公開（公告）日 2019-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN208869681U 申請(qǐng)公布日 2019-05-17
分類號(hào) C25D7/12（2006.01）I; C25D17/00（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 李云華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市創(chuàng)智誠泰科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518100 廣東省深圳市新安街道67區(qū)中糧創(chuàng)智廠區(qū)1棟廠房1403-1405室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于晶圓電鍍的蜂窩板，蜂窩板設(shè)于被電鍍晶圓與電鍍陽極之間，為圓形板，所述蜂窩板的厚度為1?50mm，其表面布設(shè)有通孔，所述通孔的任一橫截面積為5?5000mm2，所述通孔的分布密度范圍為每張蜂窩板20?15000個(gè)，所述蜂窩板的面積為晶圓面積的0.8?1.2倍。同時(shí)提供了該蜂窩板用于晶圓電鍍的裝置，包括：電機(jī)，其為蜂窩板旋轉(zhuǎn)提供動(dòng)力，所述電機(jī)通過傳動(dòng)裝置與蜂窩板傳動(dòng)連接，用于帶動(dòng)蜂窩板旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型的蜂窩板通過通孔大小、分布密度和形狀來調(diào)節(jié)在陰極的電力線密度，當(dāng)旋轉(zhuǎn)后，可進(jìn)一步分散電力線的密度差異，使鍍層的均一性更好，無需設(shè)計(jì)制作特殊的掛具，制造成本大幅降低，且維護(hù)簡便。