一種聲表面波器件及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910887995.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112448689A 公開(kāi)（公告）日 2021-03-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN112448689A 申請(qǐng)公布日 2021-03-05
分類(lèi)號(hào) H03H9/02(2006.01)I 分類(lèi) 基本電子電路;
發(fā)明人 李勇;朱衛(wèi)俊;何朝峰;黃亮;馬杰;王祥邦;周陳程;沈得田;林毅 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 中電科技德清華瑩電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州豐禾專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 代理人 王鵬舉
地址 313200浙江省湖州市武康志遠(yuǎn)北路188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種聲表面波器件，包括壓電襯底、制作在壓電襯底表面的金屬電極結(jié)構(gòu)，壓電襯底表面上至少有一個(gè)有效聲表面波傳輸通道區(qū)域邊緣鑲嵌有金屬體，作為聲表面波聲波導(dǎo)的側(cè)壁；本發(fā)明提出一種構(gòu)造壓電襯底表面橫向抑制聲波導(dǎo)的新技術(shù)：在壓電襯底表面鑲嵌金屬體，作為聲表面波聲波導(dǎo)的硬側(cè)壁，利用表面鑲嵌金屬體對(duì)傳輸?shù)穆暠砻娌ǚ瓷?、衍射和壓電短路效?yīng)，直接在壓電襯底表面制作出器件所需要的聲表面波傳輸聲道，引導(dǎo)聲表面波按設(shè)計(jì)規(guī)范傳輸。??