基于非晶氧化鎵薄膜的日盲紫外探測器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910732617.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110444618B 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN110444618B 申請公布日 2021-10-22
分類號 H01L31/032;H01L31/0392;H01L31/108;H01L31/0224;H01L31/20 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張彥芳;程東;葉建東;鞏賀賀;陳選虎;任芳芳;朱順明;顧書林 申請（專利權(quán)）人 中電科技德清華瑩電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙艷平
地址 210093 江蘇省南京市鼓樓區(qū)漢口路22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于非晶氧化鎵薄膜的柔性日盲紫外探測器，探測器以高分子(如PET、聚酰亞胺)薄膜或織物為柔性襯底，使用超寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵(Ga2O3)(半導(dǎo)體層)為光探測材料，使用金屬或氮化鈦(TiN)半導(dǎo)體作為電極材料，通過光刻、刻蝕和薄膜沉積等半導(dǎo)體工藝制備肖特基接觸電極層，形成金屬電極?半導(dǎo)體層?金屬電極(MSM)結(jié)構(gòu)探測器，可實(shí)現(xiàn)對波長小于280nm的日盲紫外光的有效探測。