無水氫氟酸尾氣處理裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021387647.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213132570U | 公開（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請公布號 | CN213132570U | 申請公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號 | B01D53/18(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 駱彥成;劉奕豐;任建業(yè);胡侃中;吳全貴 | 申請（專利權(quán)）人 | 福建天甫電子材料有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 徐東峰 |
| 地址 | 364000福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)坪埔村新村路71號3層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型提供了一種無水氫氟酸尾氣處理裝置，包括：常壓尾氣收集管；噴射器，其進氣端與所述常壓尾氣收集管連接；帶壓尾氣收集管；石墨降膜吸收器，其進氣端分別與所述帶壓尾氣收集管以及所述噴射器的出氣端連接，所述石墨降膜吸收器還包括一與廢氣處理單元連接的出氣口；設(shè)置于所述石墨降膜吸收器外部的冷卻循環(huán)管路；增濃槽，其頂部的進液口與所述石墨降膜吸收器的出液口相連接，其底部的出液口與回收管路連接。?? |
