一種用于半導(dǎo)體設(shè)備零部件清洗加溫設(shè)計(jì)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022342559.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213519875U 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN213519875U 申請公布日 2021-06-22
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 薛弘宇;陳開清;劉興明;程陽;周建國 申請（專利權(quán)）人 江蘇凱威特斯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫蘇元專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳忠義
地址 214000江蘇省無錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)團(tuán)結(jié)路31號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備零部件清洗加溫設(shè)計(jì)裝置，包括控制盒，所述控制盒的一側(cè)安裝有圓管把手，且控制盒設(shè)置于電箱的上端，該所述電箱的下端安裝有不銹鋼方管，且不銹鋼方管安裝于封板的上端，若干組所述封板構(gòu)成一個(gè)長方體容納結(jié)構(gòu)，該長方體容納結(jié)構(gòu)的下端四個(gè)邊角安裝有腳輪，若干組所述封板圍成的長方體容納結(jié)構(gòu)內(nèi)安裝有耐酸堿螺旋形鐵氟龍加熱管，且耐酸堿螺旋形鐵氟龍加熱管的一側(cè)設(shè)置有PT100感溫探頭；該用于半導(dǎo)體設(shè)備零部件清洗加溫設(shè)計(jì)裝置，解決了浸泡池溫度達(dá)不到的情況，減少了氫氧化鉀的使用量，縮短了浸泡時(shí)間，提升作業(yè)效率。