一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的晶舟的強氧化劑清洗液及清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110911702.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113637536A 公開（公告）日 2021-11-12
申請公布號 CN113637536A 申請公布日 2021-11-12
分類號 C11D7/08（2006.01）I;C11D7/10（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分類 動物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 薛弘宇;顧仁寶;朱文鍵;李偉東;余簫偉 申請（專利權(quán)）人 江蘇凱威特斯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫蘇元專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張洪偉
地址 214000江蘇省無錫市錫山經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)團(tuán)結(jié)路31號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的晶舟的強氧化劑清洗液，所述強氧化劑清洗液為氫氟酸和強氧化劑的混合溶液，所述的強氧化劑為重鉻酸鉀、高錳酸鉀、高氯酸鉀、高鐵酸鈉中的至少一種；氫氟酸濃度為2?20wt％，強氧化劑的濃度為1?10wt％。本發(fā)明使用氫氟酸和強氧化劑的混合溶液來處理半導(dǎo)體晶舟的清洗，同時使用氮氣鼓泡，可以完全去除污染，保證產(chǎn)品潔凈。經(jīng)過本發(fā)明的方法清洗的晶舟，成本低，清洗效率高；可以有效去除晶舟表面彩虹印跡以及頑固的光刻膠等有機污染物和無機顆粒物質(zhì)。同時可以最大程度的保證晶舟的表面潔凈、無腐蝕印跡，確保產(chǎn)品滿足使用標(biāo)準(zhǔn)。