線(xiàn)性薄膜磁阻傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201210205416.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN102680009A | 公開(kāi)（公告）日 | 2015-08-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN102680009A | 申請(qǐng)公布日 | 2015-08-05 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01D5/12 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王建國(guó) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 寧波希磁電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫市大為專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人 | 曹祖良 |
| 地址 | 214028江蘇省無(wú)錫市新區(qū)長(zhǎng)江路7號(hào)科技園一區(qū)204室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種線(xiàn)性薄膜磁阻傳感器，其包括種子層；參考層，位于種子層上，具有第一磁矩；非磁性隔離層，位于所述參考層上，將參考層與磁性自由層隔離；磁性自由層，位于非磁性隔離層上，具有第二磁矩，所述第二磁矩具有垂直于膜面的各向異性，且第二磁矩的方向與第一磁矩的方向相互垂直。本發(fā)明由于磁性自由層的第二磁矩具有垂直于膜面的各向異性，磁性自由層在平行于膜面的方向表現(xiàn)出極低的磁滯，并且較低的飽和場(chǎng)，使得形成磁阻傳感器具有較高的靈敏度；還能形成帶聚磁環(huán)的閉環(huán)電流傳感器和不帶聚磁環(huán)的開(kāi)環(huán)電流傳感器，磁滯小，精度和線(xiàn)性度高，線(xiàn)性范圍可調(diào)，工藝簡(jiǎn)單，響應(yīng)頻率高，成本低，抗干擾性強(qiáng)和溫度特性好。 |
