載料平臺及其加工方法和熱壓裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111113204.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113571454B 公開（公告）日 2022-07-12
申請公布號 CN113571454B 申請公布日 2022-07-12
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;B23P15/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李立輝;范杰;李良;廖玉紅;劉思文 申請（專利權）人 東莞聯(lián)鵬智能裝備有限公司
代理機構 華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 -
地址 523713廣東省東莞市塘廈鎮(zhèn)塘廈大道南217A號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種載料平臺及其加工方法和熱壓裝置，該載料平臺包括承料臺和隔熱板，所述隔熱板設置于所述承料臺用于承托產(chǎn)品的一側(cè)，并用于隔絕熱量傳遞至所述承料臺，其中，所述隔熱板的熱膨脹系數(shù)小于6*10?7/℃，所述隔熱板的導熱系數(shù)小于1.6 W/mK。通過隔熱板的設置，減少熱量由熱壓頭傳遞至承料臺。上述載料平臺通過隔熱板的設置，減少熱量由熱壓頭傳遞至承料臺。使得熱壓頭的熱量僅匯聚在熱壓頭的下方，而不會擴散至整個載料平臺，從而保證熱壓后的產(chǎn)品質(zhì)量。