一種探針卡及晶圓測試系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110769474.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113484561A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113484561A 申請公布日 2021-10-08
分類號 G01R1/067（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 梁建;羅雄科 申請（專利權）人 上海澤豐半導體科技有限公司
代理機構 上海碩力知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 楊用玲
地址 200233上海市徐匯區(qū)田州路159號15單元1302室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種探針卡及晶圓測試系統(tǒng)，探針卡包括：PCB板；陶瓷基板，設置在所述PCB板上；探針頭，設置在所述陶瓷基板上，且所述探針頭包括導引板，所述導引板上設置有若干個均勻分布的探針；其中，所述PCB板和所述陶瓷基板之間設置有插板，所述插板上設置有若干個貫穿所述插板的彈簧針，所述彈簧針的兩端分別與所述PCB板和所述陶瓷基板固定連接。該探針卡能夠在增大測試區(qū)域的同時，保證探針的針尖平整度，從而有利于晶圓的測試。