一種高效金剛線硅片切割液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110800196.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113462458A 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113462458A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) C10M173/02（2006.01）I;C10N30/04（2006.01）N;C10N30/06（2006.01）N;C10N30/18（2006.01）N;C10N30/16（2006.01）N 分類 石油、煤氣及煉焦工業(yè)；含一氧化碳的工業(yè)氣體；燃料；潤(rùn)滑劑；泥煤;
發(fā)明人 郭熹;劉治洲;王波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇捷捷半導(dǎo)體新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 盧海洋
地址 226200江蘇省南通市啟東市科技創(chuàng)業(yè)園興龍路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種高效金剛線硅片切割液，其特征在于，包括下列質(zhì)量份數(shù)的組分表面活性劑20?50份、消泡劑0.5?15份、滲透劑10?20份、增溶劑10?30份、余量為去離子水，表面活性劑、滲透劑、消泡劑同為聚醚類。該硅片切割液具有優(yōu)異的滲透性和潤(rùn)滑性，分散性好，清洗能力強(qiáng)大，同時(shí)，該切割液使用添加量較現(xiàn)有產(chǎn)品降低50%，能有效降低使用成本和廢水處理難度。