臨界尺寸掃描電子顯微鏡的控制系統(tǒng)與控制方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910748742.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112395910A | 公開（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112395910A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-23 |
| 分類號(hào) | G06K9/00(2006.01)I | 分類 | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 陳輝騰;尹又生;金艷慧;劉濤;吳曉寧;許弈佳;郭曉娜;王哲忠;陳有證;談文毅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 聯(lián)芯集成電路制造（廈門）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人 | 徐協(xié)成 |
| 地址 | 361100福建省廈門市翔安區(qū)萬家春路八九九號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種臨界尺寸掃描電子顯微鏡的控制系統(tǒng)與控制方法。臨界尺寸掃描電子顯微鏡的控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)包括一智能圖像識(shí)別單元、一處理單元及一遠(yuǎn)程操作單元。智能圖像識(shí)別單元用以提取一屏幕畫面，并自動(dòng)辨識(shí)一警告事件的類型。處理單元用以在屏幕畫面的一顯示區(qū)域自動(dòng)搜尋一目標(biāo)圖案。若在屏幕畫面的顯示區(qū)域自動(dòng)搜尋到目標(biāo)圖案，則遠(yuǎn)程操作單元自動(dòng)移動(dòng)目標(biāo)圖案至顯示區(qū)域的中心。?? |
