一種先進制作工藝控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610893739.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107946172B 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN107946172B 申請公布日 2021-07-13
分類號 H01L21/02;H01L21/66 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王凌翔 申請（專利權）人 聯芯集成電路制造（廈門）有限公司
代理機構 北京市柳沈律師事務所 代理人 陳小雯
地址 福建省廈門市翔安區(qū)萬家春路八九九號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種先進制作工藝控制方法。首先形成一柵極結構于一基底上，然后形成一間隙壁于柵極結構旁，并進行一第一測量步驟來測量間隙壁的臨界尺寸。接著形成一氧化層于間隙壁兩側的基底表面，進行一清洗步驟去除部分氧化層并同時依據間隙壁的臨界尺寸調整清洗步驟所進行的時間來控制氧化層的厚度，進行一第二測量步驟來測量氧化層的厚度，以及形成一源極/漏極區(qū)域于間隙壁兩側的基底內。