一種應用于鍍膜機的真空伺服搬運系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120211757.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215251139U 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN215251139U 申請公布日 2021-12-21
分類號 C23C14/50（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 卜欽欽;戴曉東;王德智 申請（專利權）人 光馳科技（上海）有限公司
代理機構 上海申蒙商標專利代理有限公司 代理人 周宇凡
地址 200444上海市寶山區(qū)寶山城市工業(yè)園區(qū)城銀路267號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種應用于鍍膜機的真空伺服搬運系統(tǒng)，包括基板夾取移送機構、基板側移機構以及伺服控制系統(tǒng)，其中基板夾取移送機構和基板側移機構設置在鍍膜機的真空腔體內部，且基板夾取移送機構和基板側移機構分別采用伺服電機作為動力部件，基板夾取移送機構和基板側移機構分別在各自的真空伺服電機的驅動下執(zhí)行動作，伺服機電機的工作狀態(tài)由伺服控制系統(tǒng)連接控制。本實用新型的優(yōu)點是：可以實現更精確的定位；便于與外部自動化對接，提升設備的自動化水平；可實現該套系統(tǒng)在不同機型之間的應用，具有較高的靈活性；減少和設備之間的物理碰撞可以提升該套系統(tǒng)的維護時間，進而提高設備的性能；系統(tǒng)具有良好的同步性，準確性。