直線電機(jī)精密定位控制校正方法及校正系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410273776.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104076739B 公開(kāi)（公告）日 2016-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN104076739B 申請(qǐng)公布日 2016-08-17
分類號(hào) G05B19/19(2006.01)I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 邢鵬展;劉遵明;常豐吉;王忠生;李華;鄭福志;孫君實(shí);陶鑫;錢雨松;劉金彪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 佛山中科燦光微電子設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)春吉大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 長(zhǎng)春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司;佛山中科燦光微電子設(shè)備有限公司
地址 130033 吉林省長(zhǎng)春市經(jīng)開(kāi)區(qū)營(yíng)口路77號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種直線電機(jī)定位控制校正方法，該方法如下：按照設(shè)定的運(yùn)動(dòng)步長(zhǎng)控制直線電機(jī)運(yùn)行，利用激光干涉測(cè)量裝置測(cè)量每運(yùn)行一個(gè)步長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的絕對(duì)位置區(qū)間內(nèi)的定位誤差值；將定位誤差值取反得到誤差補(bǔ)償值并建立誤差補(bǔ)償表；根據(jù)設(shè)備工作需要設(shè)定直線電機(jī)每個(gè)工作位置坐標(biāo)；讀取直線電機(jī)的當(dāng)前工作位置坐標(biāo)并確定所在的位置區(qū)間；根據(jù)誤差補(bǔ)償表中對(duì)應(yīng)的絕對(duì)位置區(qū)間誤差補(bǔ)償值對(duì)當(dāng)前工作位置坐標(biāo)進(jìn)行修正，并利用修正值控制直線電機(jī)運(yùn)行。本發(fā)明對(duì)于定位誤差無(wú)較大突變的電機(jī)，均可按照既定的工作范圍對(duì)其校正補(bǔ)償，補(bǔ)償精度高，可適用于激光劃片(線)機(jī)或激光雕刻機(jī)等其它需要控制直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)步長(zhǎng)的設(shè)備。