一體化微型氣體吸收池

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011614221.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112798536B 公開(kāi)（公告）日 2022-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN112798536B 申請(qǐng)公布日 2022-04-29
分類號(hào) G01N21/03（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 林宏?duì)c;馬耀光;李蘭;李鈞穎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州納境科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 代理人 萬(wàn)尾甜;韓介梅
地址 310000浙江省杭州市西湖區(qū)高技街30號(hào)279室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種一體化微型氣體吸收池，該吸收池包括頂板、底板以及設(shè)于頂板和底板之間的兩個(gè)反射鏡?微納透鏡一體化元件和兩個(gè)密封板；所述頂板和底板上開(kāi)有通氣孔；所述兩個(gè)反射鏡?微納透鏡一體化元件由透明基板、設(shè)于透明基板正面的超表面透鏡及反射鏡和設(shè)于透明基板背面的增透膜組成，透明基板正面朝向吸收池內(nèi)部；兩個(gè)反射鏡?微納透鏡一體化元件相對(duì)設(shè)置，且兩個(gè)超表面透鏡彼此錯(cuò)開(kāi)，超表面透鏡外側(cè)分別設(shè)有可調(diào)激光器和探測(cè)器。兩個(gè)超表面透鏡還可設(shè)于兩個(gè)反射鏡?微納透鏡一體化元件中的任意一個(gè)元件上。本發(fā)明可以有效解決目前的氣體吸收池由于各關(guān)鍵光學(xué)元件各自分立，因而體積較大、成本較高，且難以實(shí)現(xiàn)高精度的對(duì)準(zhǔn)封裝的問(wèn)題。