一種正硅酸乙酯的提純方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910183201.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109734742A 公開(kāi)（公告）日 2019-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN109734742A 申請(qǐng)公布日 2019-05-10
分類(lèi)號(hào) C07F7/04（2006.01）I 分類(lèi) 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 趙明海 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 大連恒坤新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)市精誠(chéng)新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 賴(lài)秀華
地址 116600 遼寧省大連市金普新區(qū)松木島化工園區(qū)松源街
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于物質(zhì)提純領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種正硅酸乙酯的提純方法，該方法包括將待提純的正硅酸乙酯原料在160?170℃、常壓條件下進(jìn)行加熱蒸餾，將所得液態(tài)餾分在70?80℃、真空度≤95kPa的條件下進(jìn)行減壓蒸餾，再將所得氣態(tài)餾分進(jìn)行液化處理，之后將液化處理產(chǎn)物在20?40℃、常壓條件下依次進(jìn)行第一樹(shù)脂吸附和第二樹(shù)脂吸附，所述第一樹(shù)脂吸附所采用的第一吸附樹(shù)脂是功能基團(tuán)為氫離子的甲基丙烯酸甲酯，所述第二樹(shù)脂吸附所采用的第二吸附樹(shù)脂是功能基團(tuán)為氫氧根離子的聚甲基丙烯酸酯。采用本發(fā)明提供的方法對(duì)正硅酸乙酯進(jìn)行提純，其成品的純度可以從6N級(jí)(99.9999％)提高到7N級(jí)(99.99999％)，甚至更高級(jí)別，從而滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造工藝中對(duì)材料更高的要求。