一種儲存半導體材料的容器真空置換及測漏裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123306008.5 申請日 -
公開（公告）號 CN216386154U 公開（公告）日 2022-04-26
申請公布號 CN216386154U 申請公布日 2022-04-26
分類號 G01M3/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐鵬;鄧濤;魏學成;劉長城;張霞;陳文全;耿雙萍 申請（專利權）人 大連恒坤新材料有限公司
代理機構 大連至誠專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 張海燕;馬玉戈
地址 116000遼寧省大連市金普新區(qū)古耕國際商務大廈1503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種儲存半導體材料的容器真空置換及測漏裝置，包括：第一管線、第二管線、第三管線、氦氣測漏儀及真空泵，所述第一管線通過第五閥門與容器連接，所述第二管線通過第六閥門與容器連接，所述第三管線與所述真空泵連接。本實用新型公開了一種儲存半導體材料的容器真空置換及測漏裝置，通過對容器內充入氦氣能夠準確快速的找到漏點，伴熱帶對容器進行加熱，能夠更好的除去容器中的水分，將容器中的水分進行快速的置換；另外，只需將容器進行更換，即可對多個容器完成檢測，且檢測時間短，不需要耗費大量的人力和物力資源，檢測成本低。