一種熱電偶及半導(dǎo)體設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122638508.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216081808U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216081808U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-18 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01K7/02（2021.01）I;G01K1/08（2021.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 唐升 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海華力微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 周耀君 |
| 地址 | 201315上海市浦東新區(qū)良騰路6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種熱電偶及半導(dǎo)體設(shè)備。熱電偶包括至少一個(gè)導(dǎo)線(xiàn)組和保護(hù)套管組，其中，導(dǎo)線(xiàn)組包括并排設(shè)置的第一導(dǎo)線(xiàn)和第二導(dǎo)線(xiàn)，所述第一導(dǎo)線(xiàn)和所述第二導(dǎo)線(xiàn)的一端部相互連接而構(gòu)成連接端，保護(hù)套管組包括相互獨(dú)立的第一保護(hù)套管和第二保護(hù)套管。導(dǎo)線(xiàn)組中的第一導(dǎo)線(xiàn)和第二導(dǎo)線(xiàn)分別采用相互獨(dú)立的保護(hù)套管而獨(dú)立保護(hù)，使得導(dǎo)線(xiàn)組中的各個(gè)導(dǎo)線(xiàn)遠(yuǎn)離連接端的部分相互獨(dú)立，減小導(dǎo)線(xiàn)在彎折處裸露出來(lái)的部分因受熱變形后發(fā)生接觸的幾率，提升熱電偶的精確性。在將該熱電偶用于半導(dǎo)體設(shè)備中時(shí)，可有效確保設(shè)備內(nèi)溫度保持較高精確性和均勻性，從而有助于提升芯片的質(zhì)量和性能。 |
