一種晶體加工用定向裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210067157.7 申請日 -
公開（公告）號 CN102581976B 公開（公告）日 2015-04-29
申請公布號 CN102581976B 申請公布日 2015-04-29
分類號 H01L21/68(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐永亮;姜樹炎 申請（專利權(quán)）人 常州恒嘉半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 浙江昀豐新能源科技有限公司;浙江昀豐新材料科技股份有限公司
地址 321037 浙江省金華市金東區(qū)傅村鎮(zhèn)楊家村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶體加工用定向裝置，包括：底板(1)，所述底板(1)的上端面上設(shè)置有多個(gè)表面光滑的底冒(7)；設(shè)置有多個(gè)螺紋孔的中間板；與所述中間板的螺紋孔配合且穿過中間板(3)的三個(gè)以上的微調(diào)螺桿(4)，所述微調(diào)螺桿的一端為凸球面且與所述底冒(7)接觸，且三個(gè)以上的所述微調(diào)螺桿能夠支撐所述中間板。該晶體加工用定向裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以有效地解決在進(jìn)行晶體加工時(shí)必須從機(jī)床上拆卸和墊裝枕塊來進(jìn)行晶體定向而造成的加工過程繁瑣和工作效率較低等問題。