一種用于襯底處理設(shè)備的信號(hào)調(diào)制模組

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111661136.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114384841A 公開（公告）日 2022-04-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114384841A 申請(qǐng)公布日 2022-04-22
分類號(hào) G05B19/042（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 尤松 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張雙紅;張靜潔
地址 214028江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路7號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于襯底處理設(shè)備的信號(hào)調(diào)制模組，包括：殼體，設(shè)置在所述殼體上的若干個(gè)接口，所述接口用于接收所述襯底處理設(shè)備的外圍器件產(chǎn)生的信號(hào)；PCB底板，所述PCB底板上設(shè)有至少一個(gè)信號(hào)輸入端和至少一個(gè)信號(hào)輸出端，所述若干個(gè)接口分別與信號(hào)輸入端一一電連接；若干個(gè)PCB立板，所述PCB底板和若干個(gè)PCB立板設(shè)置在所述殼體的內(nèi)部，若干個(gè)所述PCB立板間隔設(shè)置在所述PCB底板上；所述PCB立板包括調(diào)壓調(diào)序電路，用于調(diào)節(jié)信號(hào)的電壓和將信號(hào)調(diào)制成所述襯底處理設(shè)備預(yù)定義的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)排序。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了減小尺寸，適用于多種外圍器件的自由替換，多種信號(hào)排序自由替換，以及減小運(yùn)算量的目的。