一種燈模組及襯底處理設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111528896.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114373696A 公開（公告）日 2022-04-19
申請公布號 CN114373696A 申請公布日 2022-04-19
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 秦志堅;燕春;楊進 申請（專利權）人 江蘇天芯微半導體設備有限公司
代理機構(gòu) 上海元好知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 張雙紅;包姝晴
地址 214028江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種燈模組及襯底處理設備，燈膜組的上燈模組和/或所述下燈模組包括：內(nèi)燈組和外燈組，所述內(nèi)燈組包括若干個內(nèi)燈，且所有所述內(nèi)燈呈圓周分布；外燈組包括若干個外燈，且所有所述外燈呈圓周分布。所述內(nèi)燈組的內(nèi)燈數(shù)量為12個，所述外燈組的外燈數(shù)量為30個；一個所述內(nèi)燈與一個所述外燈之間功率比為1:1.1～1:1.25；所述上燈模組和/或下燈模組還包括：上下調(diào)節(jié)裝置和安裝裝置。本發(fā)明可以對襯底表面溫度進行分區(qū)控制，從而保證襯底表面溫度的均勻性，降低開腔頻率，且上下調(diào)節(jié)裝置可以有效調(diào)節(jié)燈絲的傾斜，還可以在安裝時調(diào)整燈的水平度，從而進一步地保證溫度地均勻性。